Вид документа : Шифр издания : 621.38/Т14 Автор(ы) : Таиров, Юрий Михайлович, Цветков, Валерий Федорович Заглавие : Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов : учебник для вузов . -3-е изд., стереотип. Выходные данные : СПб.: Лань, 2002 Колич.характеристики :424 с Серия: Учебники для вузов. Специальная литература Примечания : Библиогр.: с.418 . -Предм. указ.: с.419 ISBN, Цена 5-8114-0438-7: 99.77, 740.52, р. ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.382(075) Предметные рубрики: Электроника-- Полупроводниковая электроника Экземпляры : всего : ОНЛ (Двинская 5/7, ЦБ)(3), ЧЗ(2), ОУЛ (Двинская 5/7, ЦБ)(3) Свободны : ОНЛ (Двинская 5/7, ЦБ)(3), ЧЗ(2), ОУЛ (Двинская 5/7, ЦБ)(3) Доп.точки доступа: Цветков, Валерий Федорович